乐山嘉洋科技发展有限公司gpp芯片生产项目（一期）项目竣工环境保护验收公示—乐山希尔电子股份有限公司-九游会集团

根据国务院第682号文《建设项目环境保护管理条例》、《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》的有关规定，乐山嘉洋科技发展有限公司gpp芯片生产项目（一期）项目的有关信息公开如下：

一、建设项目名称及概要

（一）项目名称：乐山嘉洋科技发展有限公司gpp芯片生产项目（一期）项目

（二）项目概要：

建设单位：乐山嘉洋科技发展有限公司

建设地点：乐山市高新区南新路11号

建设规模：主体工程（2f生产厂房1幢）、辅助工程、公用工程、仓储及其它。主要产品为gpp普通芯片、gpp快恢复整流芯片240万片/年，可控硅芯片150万片/年，实际建成gpp普通芯片、gpp快恢复整流芯片240万片/年。

投资规模：项目总投资11000万元。

二、建设项目对环境可能造成的影响及减轻不良影响的对策和措施

（一）废水

⑴生产废水

项目废水主要为芯片生产废水。根据生产工艺和废水水质特征，生产过程中产生的废水主要可分为含氨废水、含氟废水、含ss废水、含镍废水、酸碱废水（包括工艺酸碱废水、洗涤塔废水、一级ro过滤自然水）。

①
工艺酸碱废水 排放量222.9t/d，连续排放。

主要来自芯片加工过程中使用硫酸、盐酸、硝酸等超纯试剂以及超纯水对生产硅片进行清洗的过程，包括对生产工具、容器、石英制品的清洗等。

单晶硅gpp芯片加工对硅片的清洁度要求极高，几乎每道工序都穿插有清洗工序，清洗介质使用高纯水或超纯试剂，包括硫酸、盐酸、氢氟酸等酸、氨水等碱。进入废水处理站处理后排入高新区污水处理厂。

②含氟废水  排放量1.8t/d，非连续排放。

主要来自腐蚀工序使用氢氟酸及用高纯水清洗过程，主要污染物为氟化物。

含氟废水的处理：含氟废水采用氟化钙絮凝沉淀法进行处理，即在ph值8左右，向废水中投加过量cacl₂与废水中f-生成caf₂沉淀（加入适量絮凝剂以使废水中的氟化钙形成便于分离的矾花），当絮凝反应完成后，进行泥水分离，池底污泥由污泥泵抽到污泥浓缩池。浓缩后的污泥经压滤机压成含固量30%的泥饼，上清液进入废水处理站处理后排入高新区污水处理厂。

③含氨废水  排放量0.8t/d，非连续排放。    

主要来自清洗工序使用氨水，含氨量低，纳入含氟废水系统统一处理。

④废气洗涤塔排水  排放量1.6t/d，间歇排放。

对于芯片加工过程中排放的hf、hcl、硫酸雾、nh₃等酸碱废气，通过碱（酸）液喷淋吸收塔吸收处理，排放的废水为吸收塔中多次循环使用后的外排废水。纳入含氟废水系统统一处理。

⑤一级ro过滤自然水  排放量96.6t/d，间歇排放。

主要来自纯水站一级ro膜反渗透过滤水，主要污染物为酸、碱，少量用于废气洗涤塔使用，其余纳入含氟废水系统统一处理。

⑥浓含镍废水  排放量0.25t/d，间歇排放。

浓含镍废水交由青川县天运金属开发有限公司（危险废物经营许可证：川环危第510822027）回收处理。

⑦淡含镍废水排放量55t/d，非连续排放。

进入废水处理站处理后排入高新区污水处理厂。

⑵ 生活污水

生活污水排放量106t/d，主要来自厂区职工卫生间污水、职工食堂废水等，生活污水经预处理后，排入园区市政污水管网，进入乐山高新区污水处理厂处理。

（二）废气

本项目一期工程项目所排放的废气主要来源于：生产工艺过程包括清洗、腐蚀、去胶等使用氢氟酸、盐酸、硫酸、氨水等化学试剂挥发产生的酸性/碱性废气；涂胶、显影等工序产生有机溶剂废气。

本项目生产区的工艺排风分为三个系统：一般废气；酸、碱废气及有机废气排放系统。

（1）一般废气

一般废气主要为设备运转期间产生的热废气和一般排气，车间设置排风系统，排放量21000 m³/h，直接经15米高排气筒排放。

（2）酸碱废气

酸性废气来源于工艺流程中使用各种酸液对硅片的腐蚀、清洗过程，主要污染物为hf、hcl、h₂so₄、hno₃等，碱性废气来源于腐蚀工序和工艺中使用氨水清洗等过程。设置1套酸碱废气处理系统，酸性废气、碱性废气一并通过废气喷淋塔处理后，由两根15米高排气筒排放。

废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，酸性废气、碱性废气相互中和处理后，废气经洗涤塔处理后排入大气。

（3）有机废气

有机废气来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程，主要为含冰乙酸、光刻胶有机溶剂等有机废气，经过活性炭吸附后，屋顶15米高排气筒排放。

（4）无组织排放

无组织排放是指排气筒高度小于15米或不通过排气筒的废气排放。

① 化学品的贮存过程

本项目化学品根据生产需要由供应商负责运输、供货，设置专门分区用于化学品的暂存。

② 化学品的使用过程

本项目生产车间大部分为洁净室，全封闭式操作，易挥发有机、无机废气分别抽取到相应废气净化系统中进行处理，再通过15米高排气筒排放。废气处理系统划分合理，覆盖面大，基本消除了工艺废气在使用过程中的无组织排放源；废气处理措施完善，系统的净化效率较高。

（三）噪声

项目噪声源分为动力设备和生产设备，生产设备位于厂房内，有较好的隔声作用。因此，主要噪声源为动力设备，包括冷冻机组、空压机、风机、水泵等。

生产设备采取减震、厂房隔声；动力设备采取减震、隔声、消声等降噪措施。

（四）固体废物

(1) 废光刻胶、废显定影液：来源于光刻和显定影工序，使用过的光刻胶和显定影液完全收集属危险废物，送有危险废物处理资质单位进行处置。

(2) 废机油：来源于设备维修保养过程中所更换的废机油，完全收集。属危险废物，送有危险废物处理资质单位进行处置。

(3) 废树脂：来源于纯水制水系统过程中的吸附及离子交换树脂，完全收集。属危险废物，送有危险废物处理资质单位进行处置。

(4) 废有机溶剂瓶：为玻璃或塑料制品，属危险废物，用于废有机溶剂包装，一并送有危险废物处理资质单位进行处置。

(5) 废活性碳：为有机废气吸附后产生，交由有资质单位进行处置。

(6) 废水处理污泥：经板框脱水机脱水处理后，获得含水率较低的泥饼，再外运。泥饼属危险废物，送有危险废物处理资质单位进行处置。

(7) 浓含镍废水：交由有危险废物处理资质单位进行处置。

（8）废包装材料、废五金：为一般废物，由废品回收商收购。

三、环保设施处理效率

(1)废水治理设施

经验收监测：生产废水处理站废水中悬浮物、codcr、bod5、氨氮、氟化物、镍等主要污染物排放低于《污水综合排放标准（gb8978-1996）》表1、表4三级标准限值。

(2)废气治理设施

经验收监测：各类废气主要污染物排放低于《大气污染物综合排放标准》gb16297—1996，表2标准限值。有机废气均符合验收标准《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》db51/2377-2017，表一的要求。

(3)厂界噪声治理设施

    经验收监测：昼夜噪声监测值低于《工业企业厂界环境噪声排放标准》（gb12348-2008））3 类标准限值。

(4)固体废物治理设施

经调查，该项目修建了规范的固体废物暂存库房，固体废弃物得到了妥善处置。

（二）污染物排放情况

(1)废水

项目污水处理站排放废水各项污染物浓度满足《污水综合排放标准（gb8978-1996）》表1、表4三级标准要求。

(2)废气

1#、2#酸碱废气洗涤塔废气排气筒排放的废气中，氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物排放浓度和排放速率均符合验收标准《大气污染物综合排放标准》gb16297—1996，表2二级标准的要求；3#有机废气排气筒排放的废气中，tvocs排放浓度和排放速率均符合参照验收标准《工业企业挥发性有机物排放控制标准》db12/524-2014的要求；在周界外3个废气无组织排放监控点氟化物、氯化氢、氮氧化物浓度均低于验收标准《大气污染物综合排放标准》gb16297—1996，表2标准限值。

(3)厂界噪声

项目各厂界环境噪声监测点昼夜监测值满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（g12348-2008）3类标准。

(4)固体废物

该项目产生的一般固体废弃物均按规定进行了妥善处置，危险废物均分类收集后，交具有危险废物处理资质的单位进行处置。

四、工程项目组成

本项目由主体工程、辅助工程、公用工程、仓储及办公生活设施组成。环评项目组成与实际建成项目组成对照见表4—3：

表4—3  环评项目组成与实际建成项目组成对照表

五、环境影响报告书提出的环境影响评价结论

乐山嘉洋科技发展有限公司gpp芯片生产项目（一期工程）基本执行了环境影响评价制度和“三同时”制度，环保审批手续完备。该项目总投资11000万元，环保总投资659万元，占总投资的5.99％。该企业的主要环保治理设施基本按环评的要求来实施完成。

验收监测期间，1^#、2^#酸碱废气洗涤塔废气排气筒排放的废气中，氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物排放浓度和排放速率均符合验收标准《大气污染物综合排放标准》gb16297—1996，表2二级标准的要求；3^#有机废气排气筒排放的废气中，苯、甲苯、二甲苯、挥发性有机物排放浓度和排放速率均符合验收标准《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》db51/2377-2017，表1的要求；在周界外3个废气无组织排放监控点氟化物、氯化氢、氮氧化物浓度均低于验收标准《大气污染物综合排放标准》gb16297—1996，表2标准限值；外排生产废水主要污染物排放浓度均满足《污水综合排放标准》（gb8978-1996）表1、表4三级标准的要求；各厂界环境噪声监测点昼夜间噪声监测值均低于《工业企业厂界环境噪声排放标准》（gb12348-2008）表1、3类标准限值；该项目产生的一般固体废弃物均按规定进行了妥善处置，危险废物均分类收集后，交具有危险废物处理资质的单位进行处置；项目制定了环境保护管理制度和应急预案，落实了各项风险防范措施。

乐山嘉洋科技发展有限公司

                     2018年7月2日

环境影响报告书简本的公示期限：

2018年7月5日至2018年8月2日的20个工作日